A modern FE-SEM technika nemcsak magas teljesítményt igényel, hanem sokféle funkciót is magában foglal úgy, mint a széleskörű megfigyelést, az in-szitu (folyamat közbeni) elemzést, a változtatható kamranyomást, a nagyfelbontású képalkotást kis gyorsító feszültségeken és egyidejűleg többféle jel detektálását.
Az SU7000-et úgy tervezték, hogy teljesítse ezeket a követelményeket és ezen felül még többet is nyújtson.
-
Termék leírása
-
Alapkoncepció:
1. Sokoldalú képalkotó képesség
Az SU7000 kiváló képességekkel rendelkezik a különböző jelek egyidejű detektálásában. Alkalmas az egyre növekvő SEM igények kielégítésére a széles látószögű képalkotástól egészen a szub-nanométeres struktúrák megjelenítéséig.
Az újonnan kifejlesztett elektronoptikai- és detektáló rendszerek segítségével egyszerre többféle másodlagos elektron (SE) és visszaszórt elektron (BSE) jel gyűjthető.
2. Többcsatornás képalkotás
A SEM-hez kapcsolódó detektorok száma egyre növekszik, csakúgy, mint az így összegyűjtött információ mennyisége, így ezek hatékony megjelenítése a felhasználók számára nélkülözhetetlen.
Az SU7000 egyidejűleg 6 különböző jel feldolgozására, megjelenítésére és mentésére képes az információgyűjtés maximalizálása érdekében.
3. Megfigyelési technikák széles választéka
A mintakamra és a vákuumrendszer a következőkre optimalizálható:
– Nagy méretű minták
– Minta manipuláció különböző tengelyek körül
– Változtatható nyomásértékek
– Kriogén körülmények (hűthető mintatartó)
– Fűtés és hűtés hatásainak in-szitu megfigyelése
4. Mikro-elemanalízis
A Schottky-emitterrel szerelt elektronágyú egészen 200 nA-ig képes nyaláb-áramot biztosítani a különböző mikroanalízis vizsgálatok igényeihez igazodva.
A mintakamra és a detektor-portok elrendezést úgy tervezték, hogy több analitikai opciót tartalmazhasson, többek között EDX, WDX, EBSD, katód-lumineszcencia, stb. Számos analitikai tartozék kombinációjával az SU7000 multidiszciplináris technikákat egyesít egyetlen platformon.
Képalkotási teljesítmény:
Továbbfejlesztett információgyűjtés
Az SU7000 detekciós rendszere megkönnyíti a szerkezeti, topográfiai, elemösszetételi, kristályszerkezeti, és egyéb információk gyűjtését, miközben csak minimálisan változtatja a munkatávolságot vagy a gyorsítófeszültséget.
Intuitív grafikus felhasználói felület
Testre szabható megjelenítési módok.
Egy- és kétmonitoros konfigurációk.
Egyidejű képmegjelenítés 4 csatornán (egy monitor) és 6 csatornán (két monitor).
Élő videó kép a mintakamrából és SEM MAP (navigációs térkép) funkció a pontos minta-navigációhoz.
Rugalmas képernyő-elrendezés:
A szoftver képes megjeleníteni 1, 2 vagy 4 jelet, beleértve a mintakamra videó képét, vagy a navigációs térképet egy monitoron.
Ezenkívül a kezelőpanel is testre szabható, így az al-menük bárhol megjeleníthetőek a képernyőn.
Kettős monitor:
Az első monitor dedikált képkijelzőként, míg a második monitor a kezelési műveletekhez használható. A baloldali kijelzőn 5 detektor képe (UD, LD, UVD, MD és PD-BSED) és a navigációs kép láthatóak.
A jobb képernyőn pedig a kezelőpanel menüje és az indexkép ablak jelenik meg.
A kettős monitor-konfiguráció bővített munkaterülete által növeli a hatékonyságot.
Bővíthető megfigyelési és elemzési lehetőségek:
A mintakamra és a mintatartó asztal képes befogadni 200 mm átmérőjű és 80 mm magasságú mintát. Továbbá 18 kiegészítő nyílást (portot) tartalmaz szerelvények és detektorok számára. A mintatartó asztal 135 mm (X) x 100 mm (Y) távolságot képes bejárni, és maximum 2 kg -os mintával terhelhető. (*) A nagy méretű minták vagy a változtatható típusú asztalok könnyen beszerelhetők az elől nyíló mintakamra ajtón keresztül.
* 0° -os döntésnél.
Kamera navigáció: (*)
Balra: A minta képe a kamrában elhelyezett kamerával.
Jobbra: A kamera képe átkerül a SEM MAP képernyőre a tájékozódáshoz.
A kamera navigációs funkció összehasonlítja az optikai képet a minta vizsgált területével. A mintakamrában lévő kamera a minta behelyezésének időpontjában rögzíti a minta képét, mely átkerül a SEM MAP képernyőre, ami egy grafikusan vezérelt navigációs felület. A kamera navigáció maximum 100 mm-es mintát képes kezelni.
(*) A kamera navigációs funkció opcionális.
Dinamikus megfigyelés engedélyezése
Az SU7000-ben különböző környezeti feltételek mellett lehet vizsgálatokat végezni. A PD-BSED mellett UVD és MD-al végezhető megfigyelés alacsony-vákuum módban.
UVD használata alacsony-vákuum módban:
Minta: üvegszálak fém-oxiddal
Bal: MD (visszaszórt elektron) kép
Jobbra: UVD (másodlagos elektron) kép
A bal oldali képen az oxid eloszlását (Z-kontraszt), jobboldalt a rétegződés állapotát (felszíni információ) láthatjuk.
Javított PD-BSED válaszsebesség
Balra: hagyományos PD-BSED kép 30 ms szkennelési sebességnél x 64 képre integrálva
Jobbra: SU7000 PD-BSED kép, amely jobb választ és képminőséget eredményez az in-szitu megfigyelési képesség növeléséhez.
-
-
Letöltések
Szabó Ábel
Kereskedelmi képviselő
Amennyiben további kérdése van a termékkel kapcsolatban, vagy ajánlatot szeretne kérni, kérjük keresse kollégánkat.
