Hitachi SU7000 - Unicam Magyarország Kft.
Címünk: Budapest, Kőszeg u. 27 Tel: 1-2215536 Fax: 1-2215543 E-mail: unicam@unicam.hu

Hitachi SU7000

A modern FE-SEM technika nemcsak magas teljesítményt igényel, hanem sokféle funkciót is magában foglal úgy, mint a széleskörű megfigyelést, az in-szitu (folyamat közbeni) elemzést, a változtatható kamranyomást, a nagyfelbontású képalkotást kis gyorsító feszültségeken és egyidejűleg többféle jel detektálását.

Az SU7000-et úgy tervezték, hogy teljesítse ezeket a követelményeket és ezen felül még többet is nyújtson.

  • Termék leírása

    • Alapkoncepció:

      1. Sokoldalú képalkotó képesség

      Az SU7000 kiváló képességekkel rendelkezik a különböző jelek egyidejű detektálásában. Alkalmas az egyre növekvő SEM igények kielégítésére a széles látószögű képalkotástól egészen a szub-nanométeres struktúrák megjelenítéséig.

      Az újonnan kifejlesztett elektronoptikai- és detektáló rendszerek segítségével egyszerre többféle másodlagos elektron (SE) és visszaszórt elektron (BSE) jel gyűjthető.

      2. Többcsatornás képalkotás

      A SEM-hez kapcsolódó detektorok száma egyre növekszik, csakúgy, mint az így összegyűjtött információ mennyisége, így ezek hatékony megjelenítése a felhasználók számára nélkülözhetetlen.

      Az SU7000 egyidejűleg 6 különböző jel feldolgozására, megjelenítésére és mentésére képes az információgyűjtés maximalizálása érdekében.

      3. Megfigyelési technikák széles választéka

      A mintakamra és a vákuumrendszer a következőkre optimalizálható:

      – Nagy méretű minták

      – Minta manipuláció különböző tengelyek körül

      – Változtatható nyomásértékek

      – Kriogén körülmények (hűthető mintatartó)

      – Fűtés és hűtés hatásainak in-szitu megfigyelése

      4. Mikro-elemanalízis

      A Schottky-emitterrel szerelt elektronágyú egészen 200 nA-ig képes nyaláb-áramot biztosítani a különböző mikroanalízis vizsgálatok igényeihez igazodva.

      A mintakamra és a detektor-portok elrendezést úgy tervezték, hogy több analitikai opciót tartalmazhasson, többek között EDX, WDX, EBSD, katód-lumineszcencia, stb. Számos analitikai tartozék kombinációjával az SU7000 multidiszciplináris technikákat egyesít egyetlen platformon. 

      Képalkotási teljesítmény:

      Továbbfejlesztett információgyűjtés

      Az SU7000 detekciós rendszere megkönnyíti a szerkezeti, topográfiai, elemösszetételi, kristályszerkezeti, és egyéb információk gyűjtését, miközben csak minimálisan változtatja a munkatávolságot vagy a gyorsítófeszültséget.

      Intuitív grafikus felhasználói felület

      Testre szabható megjelenítési módok. 

      Egy- és kétmonitoros konfigurációk.

      Egyidejű képmegjelenítés 4 csatornán (egy monitor) és 6 csatornán (két monitor).

      Élő videó kép a mintakamrából és SEM MAP (navigációs térkép) funkció a pontos minta-navigációhoz.

      Rugalmas képernyő-elrendezés:

      A szoftver képes megjeleníteni 1, 2 vagy 4 jelet, beleértve a mintakamra videó képét, vagy a navigációs térképet egy monitoron.

      Ezenkívül a kezelőpanel is testre szabható, így az al-menük bárhol megjeleníthetőek a képernyőn.

      pastedGraphic.png

      Kettős monitor:

      Az első monitor dedikált képkijelzőként, míg a második monitor a kezelési műveletekhez használható. A baloldali kijelzőn 5 detektor képe (UD, LD, UVD, MD és PD-BSED) és a navigációs kép láthatóak.

      A jobb képernyőn pedig a kezelőpanel menüje és az indexkép ablak jelenik meg.

      A kettős monitor-konfiguráció bővített munkaterülete által növeli a hatékonyságot.

      pastedGraphic_1.png

      Bővíthető megfigyelési és elemzési lehetőségek:

      A mintakamra és a mintatartó asztal képes befogadni 200 mm átmérőjű és 80 mm magasságú mintát. Továbbá 18 kiegészítő nyílást (portot) tartalmaz szerelvények és detektorok számára. A mintatartó asztal 135 mm (X) x 100 mm (Y) távolságot képes bejárni, és maximum 2 kg -os mintával terhelhető. (*) A nagy méretű minták vagy a változtatható típusú asztalok könnyen beszerelhetők az elől nyíló mintakamra ajtón keresztül.

      * 0° -os döntésnél.

      pastedGraphic_2.png

      Kamera navigáció: (*)

      pastedGraphic_3.png

      Balra: A minta képe a kamrában elhelyezett kamerával.

      Jobbra: A kamera képe átkerül a SEM MAP képernyőre a tájékozódáshoz.

      A kamera navigációs funkció összehasonlítja az optikai képet a minta vizsgált területével. A mintakamrában lévő kamera a minta behelyezésének időpontjában rögzíti a minta képét, mely átkerül a SEM MAP képernyőre, ami egy grafikusan vezérelt navigációs felület. A kamera navigáció maximum 100 mm-es mintát képes kezelni.

      (*) A kamera navigációs funkció opcionális.

      Dinamikus megfigyelés engedélyezése

      Az SU7000-ben különböző környezeti feltételek mellett lehet vizsgálatokat végezni. A PD-BSED mellett UVD és MD-al végezhető megfigyelés alacsony-vákuum módban.

      UVD használata alacsony-vákuum módban:

      pastedGraphic_4.png

      Minta: üvegszálak fém-oxiddal

      Bal: MD (visszaszórt elektron) kép

      Jobbra: UVD (másodlagos elektron) kép

      A bal oldali képen az oxid eloszlását (Z-kontraszt), jobboldalt a rétegződés állapotát (felszíni információ) láthatjuk.

      Javított PD-BSED válaszsebesség

      pastedGraphic_5.png

      Balra: hagyományos PD-BSED kép 30 ms szkennelési sebességnél x 64 képre integrálva

      Jobbra: SU7000 PD-BSED kép, amely jobb választ és képminőséget eredményez az in-szitu megfigyelési képesség növeléséhez.

  • Letöltések

Amennyiben további kérdése van a termékkel kapcsolatban, vagy ajánlatot szeretne kérni, kérjük keresse kollégánkat.

Tel: