Hitachi SU7000 pásztázó elektronmikroszkóp

Sokoldalú képalkotó képesség

Az Hitachi SU7000 téremissziós elektronmikroszkóp (FE-SEM) kiváló képességekkel rendelkezik a különböző jelek egyidejű detektálásában. Alkalmas az egyre növekvő SEM igények kielégítésére a széles látószögű képalkotástól egészen a szub-nanométeres struktúrák megjelenítéséig.

Az újonnan kifejlesztett elektronoptikai- és detektáló rendszerek segítségével egyszerre többféle másodlagos elektron (SE) és visszaszórt elektron (BSE) jel gyűjthető.

Többcsatornás képalkotás

A SEM-hez kapcsolódó detektorok száma egyre növekszik, csakúgy, mint az így összegyűjtött információ mennyisége, így ezek egyidejű, hatékony megjelenítése a felhasználók számára nélkülözhetetlen. A Hitachi SU7000 FE-SEM egyidejűleg 6 különböző jel feldolgozására, megjelenítésére és mentésére képes az információgyűjtés maximalizálása érdekében.

Megfigyelési technikák széles választéka

A mintakamra és a vákuumrendszer a következőkre optimalizálható:

– Nagy méretű minták

– Minta manipuláció különböző tengelyek körül

– Változtatható nyomásértékek

– Kriogén körülmények (hűthető mintatartó)

– Fűtés és hűtés hatásainak in-szitu megfigyelése

Mikro-elemanalízis

A Schottky-emitterrel szerelt elektronágyú egészen 200 nA-ig képes nyaláb-áramot biztosítani, amely maximálisan kiszolgálja a különböző mikroanalízis vizsgálatok igényeit is.

A mintakamra és a detektor-portok elrendezését úgy tervezték, hogy a készülék számos analitikai opciót tartalmazhasson, többek között EDX, WDX, EBSD, katód-lumineszcencia, stb. A nagyszámú analitikai tartozék kombinációjával az SU7000 FE-SEM egyetlen platformon egyesíti a multidiszciplináris technikákat. 

Képalkotási teljesítmény:

Továbbfejlesztett információgyűjtés: Az SU7000 detektálási rendszere jelentősen megkönnyíti a szerkezeti, topográfiai, elemösszetételi, kristályszerkezeti, és egyéb információk gyűjtését, miközben csak minimálisan változtatja a munkatávolságot vagy a gyorsítófeszültséget.

Intuitív grafikus felhasználói felület

• Testre szabható megjelenítési módok. 
• Egy- és kétmonitoros konfigurációk.
• Egyidejű képmegjelenítés 4 csatornán (egy monitor esetén) és 6 csatornán (két monitor esetén).
• Élő videó kép a mintakamrából és SEM MAP (navigációs térkép) funkció a pontos minta-navigációhoz.

Rugalmas képernyő-elrendezés:

A szoftver képes megjeleníteni 1, 2 vagy 4 jelet, beleértve a mintakamra videó képét, vagy a navigációs térképet egy monitoron.

Ezenkívül a kezelőpanel is testre szabható, így az almenük bárhol megjeleníthetők a képernyőn.

Kettős monitor:

Az első monitor dedikált képmegjelenítőként, míg a második monitor a kezelési műveletekhez használható. A baloldali kijelzőn 5 detektor képe (UD, LD, UVD, MD és PD-BSED) és a navigációs kép láthatóak. A jobb képernyőn pedig a kezelőpanel menüje és az indexkép ablak jelenik meg.

A kettős monitor-konfiguráció bővített munkaterülete által növeli a hatékonyságot.

Bővíthető megfigyelési és elemzési lehetőségek:

A mintakamra és a mintatartó asztal képes befogadni akár maximum 200 mm átmérőjű és 80 mm magasságú mintát. Továbbá 18 kiegészítő nyílást (portot) tartalmaz különböző szerelvények és detektorok számára. A mintatartó asztal 135 mm (X) x 100 mm (Y) távolságot képes bejárni, és maximum 2 kg -os mintával terhelhető. (*) A nagy méretű minták vagy a változtatható típusú asztalok könnyen beszerelhetők az elöl nyíló mintakamra ajtón keresztül.

(* 0° -os döntésnél.)

Kamera navigáció: (*)

Balra: A minta képe a kamrában elhelyezett kamerával.

Jobbra: A kamera képe átkerül a SEM MAP képernyőre a tájékozódáshoz.

A kamera navigációs funkció összehasonlítja az optikai képet a minta vizsgált területével. A mintakamrában lévő kamera a minta behelyezésének időpontjában rögzíti a minta képét, mely átkerül a SEM MAP képernyőre, ami egy grafikusan vezérelt navigációs felület. A kamera navigáció maximum 100 mm-es mintát képes kezelni.

Dinamikus megfigyelés engedélyezése

Az SU7000 FE-SEM-ben különböző környezeti feltételek mellett is lehet vizsgálatokat végezni. A PD-BSED mellett UVD és MD-al végezhető megfigyelés alacsony-vákuum módban.

UVD használata alacsony-vákuum módban:

Minta: üvegszálak fém-oxiddal

Bal: MD (visszaszórt elektron) kép

Jobbra: UVD (másodlagos elektron) kép

A bal oldali képen az oxid eloszlását (Z-kontraszt), jobboldalt a rétegződés állapotát (felszíni információ) láthatjuk.

Javított PD-BSED válaszsebesség

Balra: hagyományos PD-BSED kép 30 ms szkennelési sebességnél x 64 képre integrálva

Jobbra: SU7000 PD-BSED kép, amely jobb választ és képminőséget eredményez az in-szitu megfigyelési képesség növeléséhez.