Hitachi NE4000

A Hitachi NE4000 nanoEBAC egy elektronsugár alapú anyagvizsgáló rendszer az elektronikai alkatrészek jellemzéshez és EBAC (Electron Beam Absorbed Current) elemzéséhez. Lehetőséget nyújt továbbá mikroelektronikai eszközök kapcsolódásának, anyagának és alkatrészeinek ellenőrzésére.

Termék leírása
- Az elektronsugaras abszorpciós áram (EBAC) technika gyors és hatékony módszert kínál a nyílt áramkörök, a nagy ellenállások és a rövidzárlatok azonosítására a kötések mentén, a mélyebb rétegek közvetlen érintése nélkül.
  
  Az EBAC-technikát elektronsugárral végezzük úgy, hogy a dielektromos rétegeken átküldjük az elektronokat, hogy a mélyebben fekvő fémes rétegen mérjük az elektronsugár abszorbeált hányadát. Az FE-SEM (téremissziós-SEM) gyorsító feszültségével szabályozni lehet a dielektromos rétegben a „tapintási” mélységet vagy a nyaláb jelenléti szintjét a dielektrikumban. Egy szondát helyeznek a fémréteg felső, szabadon lévő részére az áramkör zárásához, mely lehetővé teszi az elektronok áramlását az összeköttetésen keresztül. A Hitachi által szabadalmaztatott differenciális EBAC erősítőkkel, a Seebeck hatást kihasználva, nagy ellenállás és rövidzárlat is megfigyelhető.
  
  Felhasználóbarát dizájn
  
  Intuitív GUI (grafikus felhasználói felület) különböző kép- és színfeldolgozási funkciókkal. A szondák durva pozícionálását egy beépített kamra CCD kamerarendszer végzi.
  
  Prémium képminőség
  
  A nagyfelbontású EBAC képekről a Hitachi szabadalmaztatott, nagyteljesítményű EBAC erősítőivel gondoskodik.
  
  Kimagasló teljesítmény
  
  Alacsony kromatikus aberrációjú, hideg-téremissziós (CFE) elektronágyú az alacsony feszültségű képalkotáshoz és a nyaláb károsító hatásának csökkentéséhez.
  
  Nagy pontosságú nano-szonda egységek.
  
  Fejlett alkalmazások
  
  Dedikált nano-szonda rendszer EBAC analízissel és az elektromos jellemzők elemzésével. A nagy mintatartó asztal lehetővé teszi tiszta anyagok és elektronikai alkatrészek értékelését.